Holding device and method for separation

保持装置および離間方法

Abstract

【課題】被保持体を損傷させることなく、確実に被保持体と保持面との縁切りを行うことができる保持装置を提供する。【解決手段】保持装置は、被保持体の一方の面側に面接触して当該被保持体を保持する保持面を有する保持手段と、保持面に保持力を付与する保持力付与手段と、保持面と被保持体との間に流体を供給し、保持面と被保持体との間に離間空間を形成して保持面から被保持体を離間させる流体供給手段とを備えた保持装置であって、被保持体の外縁部を押圧して当該被保持体の外縁部から流体が流出することを防止する押圧手段を備えている。【選択図】図1
【課題】被保持体を損傷させることなく、確実に被保持体と保持面との縁切りを行うことができる保持装置を提供する。 【解決手段】保持装置は、被保持体の一方の面側に面接触して当該被保持体を保持する保持面を有する保持手段と、保持面に保持力を付与する保持力付与手段と、保持面と被保持体との間に流体を供給し、保持面と被保持体との間に離間空間を形成して保持面から被保持体を離間させる流体供給手段とを備えた保持装置であって、被保持体の外縁部を押圧して当該被保持体の外縁部から流体が流出することを防止する押圧手段を備えている。 【選択図】図1
PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a holding device capable of surely performing edge cutting between an object to be held and a holding surface without damaging the object to be held.SOLUTION: A holding device includes: holding means having a holding surface for holding an object to be held by being in surface contact with one surface side of the object to be held; holding force application means for applying holding force to the holding surface; and fluid supply means for supplying fluid between the holding surface and the object to be held and forming separation space between the holding surface and the object to be held to separate the object to be held from the holding surface. This holding device also includes pressing means for preventing the fluid from flowing out from an outer edge part of the object to be held by pressing the outer edge part of the object to be held.SELECTED DRAWING: Figure 1

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